Μικροσυστήματα και Νανοτεχνολογια

Εισαγωγή στα Μικρο- και Νανο-Συστήματα: Ορισμός και παραδείγματα μικροσυστημάτων. Συνάφεια μικρο-ηλεκτρονικής, μικρο-οπτικής και μικρο-ηλεκτρομηχανικής τεχνολογίας. Βασικές τεχνολογικές διαδικασίες κατασκευής μικροσυστημάτων και μαθηματικά μοντέλα: Ανάπτυξη κρυστάλλων και βασικές ιδιότητες (1). Ιοντική εμφύτευση (1). Θερμική οξείδωση (2). Διάχυση προσμίξεων (4). Χημική και φυσική εναπόθεση αγώγιμων και μονωτικών στρωμάτων (CVD, PVD, MBE) (1). Λιθογραφία. Εγχάραξη.(1). Παραδείγματα κατασκευής μικροηλεκτρονικών διατάξεων και συστημάτων (1). Μικρο-αισθητήρες και ενεργοποιητές: Ορισμοί και χαρακτηριστικές ιδιότητες αισθητήρων. Φυσικές αρχές λειτουργίας αισθητήρων. Ειδικές διαδικασίες για την μικρομηχανική-Μικροαισθητήρες: Μικρομηχανική επεξεργασία επιφάνειας και όγκου. Τεχνολογία κατασκευής και παραδείγματα φυσικών αισθητήρων (πίεσης, επιτάχυνσης, ροής, θερμοκρασίας) και βιοχημικών αισθητήρων. Από τη μικροτεχνολογία στη νανοτεχνολογία και τα νανοσυστήματα: Ηλεκτρονικές ιδιότητες νανοσωματιδίων και νανονημάτων (Μέθοδοι οργανωμένης κατασκευής στην νανομετρική κλίμακα. Aυτο-οργάνωση και κατευθυνόμενη αυτο-οργάνωση νανοσωματιδίων και νανονημάτων. Επαφή με τον μακρόκοσμο. Εφαρμογές στην νανοηλεκτρονική και νανο-αισθητήρες.