Επιλογές εγγραφής
3378 Μικροσυστήματα και Νανοτεχνολογία
9ο Εξάμηνο ΗΜΜΥ
Διδακτικές Μονάδες : 4
Φόρτος Εργασίας : theory 3, lab 1
Γλώσσα : el, en
Μαθησιακά Αποτελέσματα : Με την επιτυχή ολοκλήρωση του μαθήματος ο φοιτητής/τρια θα είναι σε θέση να:
• Να γνωρίζει την τεχνολογία με την οποία κατασκευάζονται τα ολοκληρωμένα κυκλώματα.
• Να υπολογίζει την κατανομή των προσμίξεων νόθευσης στο πυρίτιο μετά από τις διαδικασίες εμφύτευσης και θέρμανσης.
• Να αποφασίζει για τις καταλληλότερες συνθήκες σχηματισμού θερμικού οξειδίου, ανάλογα με την χρήση του, για την κατασκευή μιας μικροηλεκτρονικής διάταξης.
• Να επιλέγει την καταλληλότερη διαδικασία εναπόθεσης μονωτικών και αγώγιμων στρωμάτων ανάλογα με την επιδιωκόμενη χρήση τους στην κατασκευή ολοκληρωμένου κυκλώματος.
• Να γνωρίζει τις διαδικασίες που επιτρέπουν την σχηματοποίηση των υλικών μέσω λιθογραφίας και εγχάραξης.
• Να σχεδιάζει έναν αισθητήρα με βάση το προς μέτρηση μέγεθος, συνδυάζοντας την φυσική αρχή λειτουργίας και την τεχνολογία κατασκευής του.
• Να γνωρίζει τις τεχνικές μικρομηχανικής που επιτρέπουν την κατασκευή ελεύθερα κινούμενων μικροδομών (προβόλων, γεφυρών, ταλαντωτών).
• Να αντιλαμβάνεται πως η νανοτεχνολογία μπορεί να συνδυασθεί με την μικρομηχανική και μικροτεχνολογία για την αύξηση της ευαισθησίας των χημικών και βιοχημικών αισθητήρων.
Ορισμοί και παραδείγματα μικροσυστημάτων. Σχέση μεταξύ μικροηλεκτρονικής, μικρο-οπτικής και μικρο-ηλεκτρομηχανικής τεχνολογίας. Τεχνολογία και φυσικά μοντέλα διαδικασιών επεξεργασίας πυριτίου: Θερμικές διεργασίες και διαδικασίες νόθευσης, εναπόθεση λεπτών στρωμάτων, οπτική λιθογραφία και λιθογραφία ηλεκτρονικής δέσμης, εγχάραξη με πλάσμα. Απαιτήσεις νανοηλεκτρονικής τεχνολογίας και εξέλιξη των διεργασιών για έλεγχο στην νανοκλίμακα. Βασικά χαρακτηριστικά και φυσικές αρχές λειτουργίας αισθητήρων. Διαδικασίες μικρομηχανικής: επιφανειακή μικρομηχανική και μικρομηχανική όγκου. Παραδείγματα ολοκληρωμένης κατασκευής και λειτουργίας φυσικών και χημικών αισθητήρων. Βιοαισθητήρες και lab-on-chip. Από την μικροτεχνολογία στην νανοτεχνολογία. Μέθοδοι κατασκευής στην νανοκλίμακα, προσεγγίσεις top-down και bottom-up. Νανομετρολογία. Κατασκευή και κβαντικές ιδιότητες νανοσωματιδίων και νανονημάτων και εφαρμογές τους σε αισθητήρες.
Οι επισκέπτες δεν έχουν πρόσβαση στο μάθημα αυτό. Παρακαλούμε συνδεθείτε (με τον λογαριασμό σας).